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电子气体中金属杂质的捕集

电子工业用气体统称电子气体，杂质捕获仪价格，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，是微纳电子制造国家安全战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。

近年来，随着微纳电子先进制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大，尤其是气体中的金属杂质，是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因

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杂质捕获仪广泛应用于各个行业，由于在工矿业中金属检测环境恶劣，电磁干扰严重，容易出现漏报，误报等问题，制约了金属探测器检测精度的提高，金属块穿过检测线圈整个过程的物理，数学模型，并详细推导了改进型平衡式检测原理，在原理设计上采用脉冲信号代替正弦交流信号，不仅减少功耗而且提高了抗干扰能力.硬件上采用数字信号处理器作为主控芯片，发挥其精度高，运算速度快等优势，同时配备了发射模块，接收模块(主要是放大滤波电路)，A/D转换模块，人机交互模块，通信模块，输出驱动模块等，杂质捕获仪费用，共同组成了完整的检测系统.软件上将整个程序分为主程序模块，杂质捕获仪报价，自学习模块，发射信号模块，信号接收模块，通信模块和人机交互模块等，有利于前期的编程和调试.在硬件和软件完成的基础上，杂质捕获仪，将控制器，发射面板，接收面板，支架组装成一台金属检测样机.整个调试分为两个阶段，个阶段在实验室内，检验探测器的各项技术指标，得出探测器的高灵敏度;第二个阶段完全模拟工业现场，有传送带和矿石背景，重新检验探测器的灵敏度和抗干扰措施.，通过验证，金属探测器能够在高灵敏度的状态下稳定工作.探测器在设计中引用了国内外金属探测器的优势，使本课题设计的金属探测器具有创新性，前沿性和巨大的市场前景.打破国外对高精度电磁检测领域的垄断

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技术参数

1、工作电源： AC 220V±10%，50Hz。2、水浴加热功率： 1000W。3、水浴控温范围： 室温～90℃内可调。4、水浴温度显示： LED数字显示。5、水浴控温精度： ±1℃。6、漏斗控温范围： 室温～90℃内可调。7、漏斗控温显示： LED数字显示。8、漏斗控温精度： ±2℃。9、外形尺寸： 控制箱 390(长)×260(宽)×590(高)；水浴箱 90(长)×290(宽)×370(高)。10、环境温度： ≤35℃。11、相对湿度： ≤85%。12、整机功耗： 不大于1200W。

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